%0 Journal Article %J Science %D 1995 %T Microlithography by Using Neutral Metastable Atoms and Self-Assembled Monolayers %A Berggren, K. K. %A Bard, A. %A Wilbur, J.L. %A Gillaspy, J. D. %A Helg, A. G. %A McClelland, J. J. %A Rolston, S. L. %A Phillips, W. D. %A Prentiss, M. G. %A Whitesides, G. M. %B Science %V 269 %P 1255-1257 %G eng %L 466 %F 467