%0 Journal Article %J Langmuir %D 1999 %T Patterned Polymer Multilayers as Etch Resists %A Huck, W.T.S. %A Yan, L. %A Stroock, A. D. %A Haag, R. %A Whitesides, G. M. %K LA990374+ %B Langmuir %V 15 %P 6862-6867 %G eng %L 673 %! Langmuir %F 677